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全自動激光解鍵合設備

設備型號：DSI-S-DB661

應用范圍：TB/DB制程，臨時拆鍵合



主要特點：

設備特點：

1、全自動兼容8inch、12inch片生產，帶條碼自動掃描系統

2、配合特殊剝離涂層，有效減少材料損傷，良品率高

3、采用先進的光斑整形技術，光斑均勻分布

4、擁有光斑質量監(jiān)控與反饋系統，保證光斑的穩(wěn)定性

5、攜帶激光加工能量監(jiān)控與自動補償系統，保證能量的穩(wěn)定性



主要參數:


主要參數加工尺寸8inch、12inch
加工速度1000mm/s
加工精度±1μm
平臺參數行程300mm×300mm
重復定位精度±0.001mm
激光器參數紫外
稼動率>0.98
重大故障間隙時間＞1000H
良率≥99.5%



加工效果：




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400-666-4000

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