設備型號：DSI-S-TC9600
應用范圍：應用于音頻及視頻濾波器，衛(wèi)星濾波器，移動通信濾波器，無線遙控諧振器，等LT/LN襯底晶圓的改質切割，終端產品服務于手機、對講機、衛(wèi)星通信、航空航天等高端通信領域。
主要特點：
設備特點：
1、針對LT/LN材料特性開發(fā)出的光源系統(tǒng)，實現(xiàn)高精度的內部改質切割
2、切割速度快，良好的崩邊控制能力，兼容正面或背面切割工藝
3、作業(yè)無耗材，加工無材料損失
4、全自動作業(yè)，兼容4、6英寸晶圓
5、提供系統(tǒng)解決方案，配套裂片、擴片設備
6、SEMI標準，支持SECS-GEM通信
主要參數(shù):
| 主要參數(shù) | 晶圓襯底 | LT/LN襯底 |
晶圓尺寸 | 4英寸、6英寸 | |
晶圓厚度 | 50μm-500μm | |
| 切割速度 | 600mm/s-800mm/s | |
定位精度 | 重復定位精度：±1μ 定位精度：±1μm | |
| 傳輸系統(tǒng) | Load port, robot, aligner | |
長x寬x高LxWxH | 2070mm×1420mm×2238mm |
加工效果：
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