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主要特點(diǎn)：

設(shè)備特點(diǎn)：

1、根據(jù)產(chǎn)品不同功能、不同位置光源亮度獨(dú)立設(shè)定，可有效解決產(chǎn)品差異

2、主要功能：料盒上料（ 25個(gè)鐵環(huán)），化合物解理劃片，全自動(dòng)貼膜，全自動(dòng)裂片

3、工業(yè)視覺，晶圓輪廓及Notch口高效識(shí)別

4、兼容晶圓，巴條，氮化鉀巴條，CELL等不同類型產(chǎn)品全自動(dòng)作業(yè)

5、SEMI標(biāo)準(zhǔn)，支持SECS-GEM通信

主要參數(shù):

加工效果：