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LED芯片質量的好壞直接決定了LED性能的高低。在LED前道制程工藝中，清洗、蒸鍍、黃光、化學蝕刻等復雜的加工步驟不可避免得使芯片產生缺陷。如蒸鍍過程中，芯片因使用彈簧夾固定而產生夾痕；黃光作業(yè)中，若顯影不完全或光罩有破洞，會使芯片發(fā)光區(qū)有殘余金屬等。

因此，為保證芯片質量，在LED前道制程中，需要對LED芯片進行缺陷檢測，確保后道制程的產品良率，提升生產效益。

LED前道制程工藝

芯片檢測最早采用人工目檢的方式，但隨著LED照明、顯示行業(yè)技術的逐步提升，封裝器件的小型化趨勢對芯片檢測提出了更嚴苛的要求。人工目檢難度增大、誤判率升高、并且無法檢測某些類型的缺陷，已經不能滿足市場的檢測要求。自動光學AOI檢測技術可以自動定位和檢測LED芯片，能有效降低工人勞動強度、降低檢測誤判率，并大大提高工作效率，節(jié)省了大量的人力物力成本。

2018年，大族半導體進入了視覺檢測行業(yè)，于2019年成功自主研發(fā)出LED芯片AOI目檢機（COT）。憑借在LED芯片檢測領域的豐富研發(fā)經驗和技術積累，又于2020年自主研發(fā)出LED芯片AOI目檢機（COW），率先打破了國外公司對該設備的技術壟斷，陸續(xù)得到行業(yè)標桿客戶的高度認可，設備銷售額保持持續(xù)增長。

LED芯片AOI目檢機（COW）

AOI（Automatic Optic Inspection）晶圓檢測設備主要應用于Wafer外觀缺陷檢測，采用先進的組合光源打光技術和高速高分辨率相機，可以清楚的識別Wafer的外觀瑕疵，配置不同倍率的高解析度鏡頭，最小可檢測2μm左右的瑕疵尺寸。

設備優(yōu)勢

◆ 代替人工檢測，工作效率穩(wěn)定：自動化檢測并顯示檢測結果，檢測速度快并且檢測穩(wěn)定可靠，減少人為因素影響；

◆ 實現數據化，工作過程可完整記錄：機器的數字化智能化將生產記錄全部保留，保證了生產過程的品質可追溯性；

◆ 具備預定位功能：在進入檢測區(qū)之前，可對料盤上晶圓的位置進行預定位，節(jié)約整體檢測時間；

◆ 節(jié)省人力成本：料筒采用環(huán)繞晶圓機器人擺放，搬運操作不停機，上下料區(qū)共可容納7*25片。間隔時長超過1.5h，1個人可同時管理多臺機器。

檢測樣例

大族半導體在光學傳感和尺寸量測領域擁有多項專利，具備視覺和激光掃描檢測算法、運動控制系統(tǒng)和光學測量的專業(yè)設計、研發(fā)、生產能力。大族半導體將持續(xù)全力推進超高精度全自動光學檢測關鍵技術研發(fā)與優(yōu)化，并保持精益求精的態(tài)度，為客戶提供快速、準確、穩(wěn)定的自動化檢測解決方案和工藝信息化質量管理系統(tǒng)，爭取實現泛半導體行業(yè)視覺檢測設備的全覆蓋目標。